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イオン銃
イオン源の比較
製品名 コールドカソードイオン銃 低速高出力イオン銃 IBF用RFイオン銃
型式 OMI-0012CKML OMI-0010 OMI-0085シリーズ
特長 高エッチングレート
多くのガスに対応
低価格		 低エネルギーに有利
コンパクト		 長寿命
高出力
手持ちのRF電源を
活用できる。
ビームエネルギー 500eV〜5keV 30eV〜1.1keV 1kｅＶ〜5kｅＶ
ビーム電流 40μA/5keV 30μA/1.1keV 110μA/5ｋeV
電流密度 1.2mA/cm2 0.9mA/cm2 1.2mA/cm2
ビーム径（標準品） φ2ｍｍ〜φ5ｍｍ φ0.5ｍｍ〜φ5ｍｍ φ0.5ｍｍ〜φ5ｍｍ
漏洩磁束 有（オプションで無し） なし なし
製品名
コールドカソードイオン銃
(レンズモデル)
型式
OMI-0012CKML
用途
サンプルクリーニング
照射試験
イオンビームスパッタ

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製品名
コールドカソードイオン銃
（ベースモデル）
型式
OMI-0012CKM
用途
サンプルクリーニング
照射試験
イオンビームスパッタ

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製品名
マグネットセパレーター付イオン銃
型式
OMI-0040MSシリーズ
用途
水素化
イオン注入
質量分離

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製品名
10kV高精度水素イオン銃
型式
OMI-0090シリーズ
用途
水素化
イオン注入
加速器

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製品名
IBF用RFイオン銃
型式
OMI-0085シリーズ
用途
IBF
X線ミラー加工
イオンミーリング
絶縁物加工

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製品名
コールドカソード型中性ビーム銃
型式
OMB-0055
用途
ビーム照射、分析用
昇温脱離ガス分析
イオンミーリング
絶縁物加工

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製品名
低速高出力イオン銃
型式
OMI-0010
用途
ビーム照射、分析用
昇温脱離ガス分析
低速イオンミーリング

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製品名
型式
OMI-0730
用途

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製品名
型式
OMB-0515NB
用途
ビーム照射、分析用
低速イオンミーリング
ニュートラルビーム照射

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製品名
型式
OMI-1502RF
用途
ビーム照射、分析用

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製品名
型式
OMI-0053CKE
用途
材料表面クリーニング用

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製品名
型式
OMB-0410NB
用途

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製品名
型式
OMI-0035EBL
用途
ビーム照射、分析用
昇温脱離ガス分析
低速イオンミーリング

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イオン銃
製品名
型式
OMI-0810C
用途
カーボン照射、分析用
昇温脱離ガス分析

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イオン銃
製品名
型式
OMI-0043CKER
用途
クリーニング等

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イオン銃
製品名
型式
OMI-0043CKE
用途
クリーニング等

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イオン銃
製品名
型式
OMI-0045CKH
用途
Heイオン、H+イオン照射、小スポット等

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イオン銃
製品名
型式
OMI-0510CKES
用途
精密スパッター、小スポット(ターゲット10×10mm可)
昇温脱離ガス分析

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イオン銃
製品名
型式
OMI-0095CKE
用途
分析、1nA〜1000nA(ワイド出力ダイナミックレンジ)

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イオン銃
製品名
型式
OMI-3030CKH
用途
IBF、A-rイオン照射(プロトン用E×Bセパレータ オプションにて)

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イオン銃
製品名
型式
OMI-1010EBC
用途
カーボンイオン照射(O+ H2+イオン照射可)
昇温脱離ガス分析

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