ニュトラライザー電子銃 / OME-0035N｜(株)オメガトロン

ニュトラライザー電子銃 / ＯＭＥ－0035N

本電子銃はエミッタ－にWヘアピン型エミッタ－を採用し実績のある電子銃をベースに開発しましたので抜群のビーム安定度とビーム収束性と大電流を兼ね備えた低速電子銃です。資料表面の中和その他低速電子ビーム照射試験などに最適です。　ビームエネルギー１０eVの低速でも２００ｎA近くの大電流が照射可能なので資料の表面のダメージは極力抑制できます。外部入力端子にパルスアンプ（SW）を接続すれば高性能パルス電子銃になります。

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OME-0035N

項目	仕様
フィラメント	Wヘアピン
加速電圧	10eV～300eV　（連続可変）
収束レンズ	静電レンズ
バイアス方式	可変バイアス型
最大出力ターゲットカレント	90μA／300ｅＶ／ＷＤ＝５０ｍｍ 20μA／100ｅＶ／ＷＤ＝５０ｍｍ 0.8μA／30ｅＶ／ＷＤ＝５０ｍｍ 200nA／10ｅＶ／ＷＤ＝５０ｍｍ
最小ビーム径（半値幅）	φ0.7mm/300ｅＶ/60μA/WD＝50ｍｍ
出力カレント安定度	5％以内／１時間（エミッション値）
推奨ワークディスタンス	WD=10mm～100mm
動作真空度	1.0E-4Pa以上
ビーム径調整範囲	φ1.0mm～φ10mm / WD=50mm
外部パルス入力	SHV入力型（オプション）
電源	ＡＣ100V-3Ａ
取り付けフランジ	ICF70フランジ
ケーブル長	５m

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