5KeVマイクロスポット電子銃 / OME-0050μS｜(株)オメガトロン

5KeVマイクロスポット電子銃 / OME-0050μS

◆概要
本電子銃は、フィラメントに極細線の特殊エミッターを採用いたしましたので 5KVという比較的低速の加速電圧でも半地幅φ50μｍ、フレア径φ170μｍという小スポット径の電子ビームが発生可能です。また、収束レンズに2段アインツェルレンズを採用いたしましたのでビームの平行度も良くなっております。
性能	仕様
電子ビームエネルギー	1ＫｅＶ～5ＫｅＶ　連続可変
電子ビームカレント	17ｎＡ／5ｋｅＶ／ＷＤ＝100ｍｍ
電子ビーム径	φ50μｍ／ＷＤ＝100ｍｍ／ＶＡ＝5ＫＶ
加速電圧	ＶＡ＝0～5ＫＶ
収束レンズ電圧	ＶＬ1，ＶＬ2＝0～5ＫＶ
動作圧力	1×10Ｅ－4ＰＡ以下
ワークデスタンス	ＷＤ＝100ｍｍ
取り付けフランジサイズ	ＩＣＦ70
◆試験データ
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