低速高出力電子銃 / OME-0202PE
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概要
本電子銃は、300eVという低速加速電圧にても1mAちかい大電流を発生可能な低速大電流電子銃です。ニュートラライザーやイオン化等の用途に最適です。
性能
仕様
電子ビームエネルギー
〜300eV
電子ビームカレント(最大)
900μA/VA=300eV/WD=100mm
ビーム径
φ30mm〜/WD=100mm
ワークディスタンス
WD=100mm
加速電圧
VA=0〜300eV
動作圧力
1×10E−3PA以下
ベーク温度
200℃
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試験データ
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