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本電子銃はエミッタ−にＬａＢ６エミッタ−を採用しましたので高出力でかつ高精度のビームプロファイルが期待できます。エミッションカレントをフィラメント電流にフィードバックしておりますので長時間のビーム出力にても安定なビームカレントの照射が可能です。
また、X,Yスキャン回路にX軸：三角波、Y軸：階段波を採用しましたので均一なビームのスキャンが可能となります。最小ビーム径は１KeVと言う比較的低エネルギーにて５０ｍA／ｃｍ２もの大電流密度を半値幅φ５０μｍにて出力可能です。カソードルミネッセンスなどの用途に最適です。 |
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OME-0503LB |
項目 |
仕様 |
フィラメント
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Lab6エミッター
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加速電圧
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0.1keV〜3.0keV （連続可変） |
収束レンズ
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連続可変3段アインツエルレンズ
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バイアス方式
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可変バイアス型
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| 最大出力ターゲットカレント |
１００μA／１ＫｅＶ／φ０．３ｍｍ／ＷＤ＝５０ｍｍ
２μA／０．２ＫｅＶ／φ０．３ｍｍ／ＷＤ＝５０ｍｍ
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最小ビーム径（半値幅）
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５０μｍ／１ＫｅＶ／ＷＤ＝50ｍｍ
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出力カレント安定度
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1％／１時間（エミッション値）
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フィードバック回路
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PID制御
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推奨ワークディスタンス
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WD=20mm〜100mm |
動作真空度
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1.0E-5Pa以上
Lab6フィラメントは真空度により寿命が影響しますので高真空にてご使用ください。
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X,Y偏向量
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±5mm/WD=50/VA=1keV
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X軸波形
Ｙ軸波形
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三角波 1Hz〜10kHz
階段波 32,64,128ステップ 切替式 |
ビームアライメント
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DC時 ±2mm/WD=50mm
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電源
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ＡＣ１００Ｖ１０Ａ
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取り付けフランジ
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ＩＣＦ152 (ICF70フランジも可）
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| ケーブル長 |
５Ｍ |
※1keV〜3keVまで御希望により
最適セッティングいたします。 |
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| 試験データ |
ビームプロファイルデータ[PDF] |
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