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減速型低速大電流電子銃 / OME−0610L



蛍光体にビームを照射したときの画像(ビーム径φ1mm)
 
本電子銃は収束性の良い減速システムと効率の良い新型ウェネルトにより、10eVという低速領域においても小スポットで大電流の電子ビームを照射する事が可能になりました。10eVで10μA近い大電流を出力することが可能ですので、IPES(逆光電子分光)等の用途に最適です。減速レンズを用い、数eV〜1.5keVと広いレンジで効率化されており多彩な照射実験が可能です。
 
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OME-0610L
項目
仕様
フィラメント LaB6
加速電圧 数eV〜1.5KeV      連続可変
最大ターゲットカレント 250μA/WD=15mm/1.5KeV
50μA/WD=15mm/100eV
9μA/WD=15mm/10eV
推奨ワークディスタンス WD=10mm〜100mm
最小ビーム径 (半値幅) Φ0.1mm/VA=1.5KeV/WD=15mm
φ1mm/VA=10eV/WD=15mm
使用真空度(動作真空度) 10−5Pa(10−7Torr)以下
差動排気ポート ICF70mm
(ターボポンプはオプション) 推奨ターボポンプ70L/S以上接続してください
ビーム偏向量 ±5mm/WD=20mm/100eV
ベーク可能温度 200℃
差動排気オリフィス Φ1mm
入力電源 AC100V―3A
取付けフランジ ICF70
パイプ内径 ICF70(パイプ内径Φ38mm以上要す)
 

 

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