弊社は新しいシステムの製作ばかりでなく既存のチャンバーにも最適なジオメトリにてイオン銃、電子銃などを特注して取り付けることができます。またそれに附随するファラデーカップやマスフローメータなどの周辺機器も取り揃えておりますので御要望の時は何なりとお申し付けください。
またイオン銃、電子銃などやマニピュレータやバルブなどの周辺機器をLabviewでシステムコントロール可能ですのでオートメーション化することが出来ます。
システム設計思想
製品名
分析用超高真空チャンバー
型式
OMS-3000CH
用途
イオン散乱分光等
各種超高真空チャンバーの特注も承ります。
製品名
カソードルミネッセンス分析システム
型式
OMS-2003CL-BM
用途
カソードルミネッセンス等
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製品名
電子ビームイオンビーム照射装置
型式
OMS-1500EIS
用途
表面分析、O2+イオンソフトランディング(ニュートラルビーム)、O2+イオン照射可能
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製品名
エネルギーセパレータ付減速イオン銃
(スイープ機能付)
型式
OMB-0750CKD-SW
用途
ラザフォード後方散乱
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製品名
50Kv電子ビーム照射システム
型式
OMS-1500ES
用途
カソードルミネッセンス
(TVスキャン)
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製品名
4MeV電子ビーム収束偏向照射システム
型式
OMS-1004Me
用途
電子ビーム大気照射等
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