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システム製品
弊社は新しいシステムの製作ばかりでなく既存のチャンバーにも最適なジオメトリにてイオン銃、電子銃などを特注して取り付けることができます。またそれに附随するファラデーカップやマスフローメータなどの周辺機器も取り揃えておりますので御要望の時は何なりとお申し付けください。
またイオン銃、電子銃などやマニピュレータやバルブなどの周辺機器をLabviewでシステムコントロール可能ですのでオートメーション化することが出来ます。

システム設計思想
製品名
分析用超高真空チャンバー
型式
OMS-3000CH
用途
イオン散乱分光等

 各種超高真空チャンバーの特注も承ります。
製品名
型式
OMS-2003CL-BM
用途

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イオン銃
製品名
型式
OMS-1500EIS
用途
表面分析、O2+イオンソフトランディング(ニュートラルビーム)、O2+イオン照射可能

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イオン銃
製品名
型式
OMB-0750CKD-SW
用途
ラザフォード後方散乱

イオン銃
製品名
型式
OMS-1500ES
用途

製品名
型式
OMS-1004Me
用途
電子ビーム大気照射等

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