●ビーム照射、分析用
●低速イオンミーリング
●ニュートラルビーム照射

本ビーム銃は外形φ１６ｍｍ全長１００ｍｍと非常にコンパクトなザイズにて加速電圧１５００Vにて最大イオンカレント３０μAもの大電流が出力可能で、かつニュートラルビームが出力可能な為通常のイオンでは得られないエッチングが可能です。

イオンの場合は大電流にすればするほどイオンビームが発散し所定の電流密度が得られない事が有ります。

また、ニュートラルビームの場合はターゲットに電荷を供給しない為チャージアップによる影響が少なく、確実にサンプルのエッチングを行う為正確な作業が可能です。

＊オプションによる仕様変更が可能ですので、お問い合わせください。