●ビーム照射、分析用

本RFイオン銃はイオン散乱分析用（ISS）に設計されたヘリウムイオン銃で１０ｅＶ～２０００ｅＶの広範囲にわたり出力可能です。

超高真空で動作すべく設計されておりますので分析チャンバーの真空度を１０－９Torrに保ったままイオン照射可能です。

２０００ｅＶにては２００ｎA,１０ｅＶにては３０ｎAの電流を安定して供給可能です。RF式を採用してる為長時間にわたり安定したイオンビームが照射可能です。