●材料表面クリーニング用

本イオン銃は、着脱式の電磁石を持ったコールドカソード方式のイオン銃です。クローズﾄﾞタイプの電磁石の為、漏洩磁束がほとんどありません。

もし残留磁気程度のレベルを気にされる場合、真空を破らず完全に取り外す事が可能です。

最大電流１０μＡ以上を出力可能ですので、基板のクリーニングにはもちろん、各種照射実験にも最適です。

＊オプションによる仕様変更が可能ですので、お問い合わせください。