ローノイズ型3ｋｅＶイオンガン / OMI-0035EBL
用途
●ビーム照射、分析用
●昇温脱離ガス分析
●低速イオンミーリング
概要
本イオン銃は熱電子型エレクトロンボンバードデスチャージ方式を採用し、加速電圧に低ノイズ型の加速電源を採用しましたのでノイズの少ない（１％）、かつエネルギー幅⊿Eの小さな（～１０ｅＶ）イオンビームを安定して出力可能です。
しかもワークデスタンスが比較的大きいWD=150ｍｍにて１μAの出力を６００ｅＶのビームエネルギーにて出力可能です。また低速イオンでのサンプル表面にダメージの少ないミーリングも可能です。
因みに、１００ｅＶでも１００ｎAもの高出力を得られますので分析などの用途に最適です。
動作真空度が10e-4Paの高真空で使用可能なので差動排気ポートが不要です。
仕様
| フィラメント | タングステン |
|---|---|
| 加速電圧 | 100eV～3.0keV 連続可変 |
| ディスチャージ方式 | エレクトロンボンバード式 |
| 収束レンズ | アインツェルレンズ |
| 最大出力カレント | 4μA／3.0keＶ／ＷＤ＝150ｍｍ（Ar) 1.0μA／600eＶ／ＷＤ＝150ｍｍ（Ar) 100nA／100eＶ／ＷＤ＝150ｍｍ（Ar) |
| 最小ビーム径 (半値幅） | WD=150mm／3.0ekＶ／φ０.７ｍｍ（半値幅） |
| 推奨ワークディスタンス | ＷＤ＝50mm～200mm |
| ガス種 | Ar,H2,O2,N2,He(酸素の場合寿命が短くなります。 |
| ガス流量 | 0.01SCCM～0.1SCCM |
| 動作真空度（ターゲットチャンバー圧） | 3.6×10－4Pa (Heの場合 3.0×10-3Pa) |
| 取り付けフランジ | ICF70 |
| 到達真空度 | 1.0×10-7Pa以上 |
| ガス導入ポート | ICF34 |
| べーク温度 | ２００℃ |
| ケーブル長 | ５ｍ |
| 入力電源 | AC100V 10A |
※バリアブルリークバルブはオプションです。
※オプションのディスチャージコイルを追加すれば8μA～10μAの出力も可能です。
