カーボンイオン対応型１０ｋｅＶ高精度イオンガン / OMI-0810C
用途
●カーボン照射、分析用
●昇温脱離ガス分析
概要
本イオン銃はデスチャージ方式にコールドカソード型を採用したイオン銃ですのでCO2,CH4等のカーボンを含んだ分子を比較的高エネルギーの電子にて（～７００ｅＶ）イオン化しますので効率よくカーボンと酸素水素の単原子に分離することが可能です。
また原理上多価のイオンも効率よく発生可能ですので多価イオン銃としても優れております。ガス源にCO2を選定された場合酸素の１価イオンと、2価イオンその他、H2Oイオン等が同時に発生しますので必要に応じてセパレータが必要になります。
ＶＡ＝７ＫＶではビーム径が半値幅にてφ０．５ｍｍまで絞れておりますので高分解能な質量分析（イオンセパレート）が可能に成ります
仕様
| 加速電圧 | １kV～１０kV 連続可変 |
|---|---|
| 最大出力カレント | ２０μA／１０kＶ／ＷＤ＝５０ｍｍ（ＣＯ２） |
| 最小ビーム径 出力時 最大カレント | １０μA／１０kＶ／φ０．７ｍｍ（半値幅） |
| 最大電流密度 | ７００μA／ｃｍ２／ＶＡ＝９kＶ |
| 推薦ワークディスタンス | ＷＤ＝５０ｍｍ |
| ガス種 （カーボンイオン出力時） |
CO2 |
| その他反応性 ガス以外のガス使用可能 |
酸素、水素、アルゴン、窒素などガス種により出力イオンカレントが異なります。 |
| 動作真空度 （ターゲットチャンバー圧） |
1.0×10－4Pa（差動排気排気量７０Ｌ／Ｓ） |
| 取り付けフランジ | ICF114 |
| 差動排気ポート | ICF114 |
| ガス導入ポート | ICF34 |
