製品情報product information

高輝度へリウムイオン銃(コールドカソード型) / OMI-0045CKH

用途

●Heイオン、H+イオン照射
●小スポット等

概要

本イオン銃はディスチャージ電極に特殊電極を採用しましたので高出力時でも長寿命にする事が可能になりました。

また、フィラメント等の反応し易い消耗部品が有りませんので酸素イオン等の出力も可能です。

ディスチャージ方式に高密度磁界と反射式振動電界を併用いたしましたので非常に高密度のイオンビーム出力が可能となっております。

サンプル表面のクリーニング、表面のミーリング、そしてスパッター等の用途に最適です。Arですと100時間以上の連続運転が可能となっております。

5kevで1mA/cm2程度のヘリウムイオンビームを出力した時のビームサイズはφ0.7mm/フレア径φ2mmという比較的小さい高精度のビームプロファイルが得られます。小面積のサンプルに照射するのに最適です。

 

 

 

 

 

 

 

仕様

ディスチャージ方式 コールドカソード型(PIG)冷陰極放電型
加速電圧 700eV~5.7keV   連続可変
収束レンズ アインッエルレンズ
ディスチャージマグネット クローズドループ型
ターゲットカレント VA:1keV/WD=100mm/にて9μA
ガス種:へリウム VA:5keV/WD=100mm/にて17μA
ビーム径 φ0.7mm~φ200mm/WD=100mm
使用可能ガス種 He,H2,Ar,O2,N2その他不活性ガス
使用真空度(動作真空度) 5×10E-4Pa~1×10E-3Pa
取り付けフランジ ICF70
推奨ワークデスタンス WD=100mm~150mm(イオン銃先端より)
ガス導入フランジ ICF34
べーク可能温度 ~200℃(マグネットを引き抜いた時)
ディスチャージ電極寿命 10μA出力時100時間以上(条件により変動有り)
(Arガス使用時) Heガス使用時寿命Arより延びます。

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