●精密スパッター
●小スポット(ターゲット10×10mm可)
●昇温脱離ガス分析

本イオン銃は、新開発の新型ディスチャージチャンバーを採用いたしましたので高輝度高出力のイオンビームを長時間（100～200時間）連続照射が可能と成っております。

また、半値幅φ0.6ｍｍに対してフレア径がφ1ｍｍ程度となり、被スパッター物質の径を小さくできますので微少領域（１０ｍｍスケア）程度のイオンビームスパッター蒸着に最適です。

加速電圧も1KeV～10KeVまで連続可変が可能なのでその他のイオンビーム照射実験にも使用可能です。

寿命はVDSの値及びガス種などにより変化いたします。

酸素ガスを使用した場合アルゴンガスよりも寿命が低下いたしますのでご了承願います。

1. 微少領域のへのスパッター蒸着等
2. 微少領域のイオンビームミーリング
3. その他イオンビーム照射実験