製品情報product information

10keVワイドレンジイオン銃 OMI-0095CKE

用途

●分析
●1nA~1000nA(ワイド出力ダイナミックレンジ)

概要

本イオン銃は10KeVにて 1nA~1000nAの広範囲にわたり出力可能です。動作真空度が10-4Pa~10-5Paの高真空領域にて可能ですので清浄な真空でのイオンビーム照射試験等に威力を発揮します。
ビーム径もφ2mm~φ40mmの広範囲なビーム径をワークデスタンスWD=300mmものロングデスタンスにて出力可能なので大型のチャンバーにても種種の実験が可能です。
デスチャージ方式がコールドカソード型ですのでメンテナンスが非常に楽になっております。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

仕様

デスチャージ方式 コールドカソード型(PIG)冷陰極放電型
加速電圧 500eV~10keV
収束レンズ 連続アインツェルレンズ
デスチャージマグネット クローズドループ型
ターゲットカレント 1000nA/10keV/WD=300mm
推奨ワークデスタンス 最小カレント1nA100mm~300mm
使用可能ガス種 He,H2,Ar,O2,N2その他不活性ガス
ビーム径 φ2mm~φ40mm/WD=300mm
使用真空度 5×10E-4Pa~5×10E-5Pa
到達真空度 -8Paオーダー
取り付けフランジ ICF70
推奨ワークデスタンス WD=100mm~300mm(イオン銃先端より)
ガス導入フランジ ICF34
べーク可能温度 ~200℃(マグネットを引き抜いた時)
ガス流量 0.05~0.1SCCM(Ar)

 

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