10keVワイドレンジイオン銃 OMI-0095CKE
用途
●分析
●1nA～1000nA(ワイド出力ダイナミックレンジ)
概要
本イオン銃は１０ＫｅＶにて １ｎＡ～１０００ｎＡの広範囲にわたり出力可能です。動作真空度が１０－４Ｐａ～１０－５Ｐａの高真空領域にて可能ですので清浄な真空でのイオンビーム照射試験等に威力を発揮します。
ビーム径もφ２ｍｍ～φ４０ｍｍの広範囲なビーム径をワークデスタンスＷＤ＝３００ｍｍものロングデスタンスにて出力可能なので大型のチャンバーにても種種の実験が可能です。
デスチャージ方式がコールドカソード型ですのでメンテナンスが非常に楽になっております。
仕様
| デスチャージ方式 | コールドカソード型（ＰＩＧ）冷陰極放電型 |
|---|---|
| 加速電圧 | ５００ｅＶ～１０kｅＶ |
| 収束レンズ | 連続アインツェルレンズ |
| デスチャージマグネット | クローズドループ型 |
| ターゲットカレント | １０００ｎＡ／１０kｅＶ／WD＝３００ｍｍ |
| 推奨ワークデスタンス | 最小カレント１ｎＡ１００ｍｍ～３００ｍｍ |
| 使用可能ガス種 | Ｈｅ，Ｈ2，Ａｒ，Ｏ2，Ｎ2その他不活性ガス |
| ビーム径 | φ２ｍｍ～φ４０ｍｍ／ＷＤ＝３００ｍｍ |
| 使用真空度 | ５×１０Ｅ-４Ｐａ～５×１０Ｅ－５Ｐａ |
| 到達真空度 | -８Paオーダー |
| 取り付けフランジ | ＩＣＦ７０ |
| 推奨ワークデスタンス | ＷＤ＝１００ｍｍ～３００ｍｍ（イオン銃先端より） |
| ガス導入フランジ | ＩＣＦ３４ |
| べーク可能温度 | ～２００℃（マグネットを引き抜いた時） |
| ガス流量 | ０．０５～０．１ＳＣＣＭ(Ａｒ） |
