高出力高輝度高精度型へリウムイオン銃(10KeV,30KeV) / OMI-3030CKH
用途
●サンプルクリーニング
●照射試験
●イオンビームスパッタ
概要
本イオン銃はヘリウム水素等の軽い元素にても高出力イオンビームが発生可能な新型デスチャージ電極を採用しましたので１００～２００μＡのへリウムイオンビームを長時間にわたり照射可能です。
デスチャージ方式にＰＩＧ型（コールドカソード型）を採用しておりますので酸素などのガスも出力可能です。その他アルゴン、窒素、キセノン等の不活性ガスでも効率の良い大電流イオンカレント（３００μＡ以上）を出力可能です。
また、収束レンズに新型静電レンズを採用いたしましたのでビームサイズもφ１００μｍ～２ｍｍ（半値幅）／フレア径２００μｍ～４ｍｍ、最大電流密度４～５ｍＡ／ｃｍ2の高輝度が発生可能です。加速電圧は１０kｅＶ，２０kｅＶ，３０kｅＶのいずれかから選択可能です。
仕様
| デスチャージ方式 | コールドカソード型（ＰＩＧ）冷陰極放電型 |
|---|---|
| 加速電圧 | １０kｅＶ，２０kｅＶ，３０kｅＶ |
| 収束レンズ | アインツェルレンズ |
| デスチャージマグネット | クローズドループ型 |
| ターゲットカレント(全電流) | ＶＡ：１０kｅＶ／５０μＡ |
| ＷＤ＝２００ｍｍにて | ＶＡ：２０kｅＶ／１００μＡ ＶＡ：３０kｅＶ／３００μＡ |
| ビーム径（半値幅） | φ１００μｍ ／ＶＡ＝１０kｅＶ／２μＡ φ２００μｍ ／ＶＡ＝２０kｅＶ／１０μＡ |
| ガス：Ａｒ | φ２ｍｍ ／ＶＡ＝３０kｅＶ／２００μＡ |
| 使用可能ガス種 | Ａｒ，Ｎ2，Ｏ2，Ｈ2，その他不活性ガス |
| ガス流量 | ～0.1ＳＣＣＭ以下 |
| 使用真空度（動作真空度） | １×１０-5 Ｔｏｒｒ ～ １×１０-6 Ｔｏｒｒ |
| 到達真空度 | １×１０-8 Ｔｏｒｒ |
| べーク温度 | １００度以下（バイトンオーリング使用時） オプションにて２００度 有り（カルレッツ） |
| 取り付けフランジ | １０ＫｅＶ ＩＣＦ１５２ 2０ＫｅＶ ＩＣＦ１５２ 3０ＫｅＶ ＩＣＦ203 |
| 連続運転可能時間 | Ａｒ使用時：１００時間以上 |
| ガス放電条件により変動有り | Ｈｅ使用時：２００時間以上 |
| イオン銃コントローラ | 加速電圧 によりその都度お見積もり致します。 |
