減速型低速大電流電子銃 / ＯＭＥ－0610L
用途
●表面のニュートラライズ
●表面分析、イオン化
概要
本電子銃は収束性の良い減速システムと効率の良い新型ウェネルトにより、１０ｅＶという低速領域においても小スポットで大電流の電子ビームを照射する事が可能になりました。
１０ｅＶで１０μＡ近い大電流を出力することが可能ですので、ＩＰＥＳ（逆光電子分光）等の用途に最適です。減速レンズを用い、数ｅＶ～１．５ｋｅＶと広いレンジで効率化されており多彩な照射実験が可能です。
仕様
| フィラメント | LaB6 |
|---|---|
| 加速電圧 | 連続可変 数eV～1.5keV |
| 最大ターゲットカレント | ２５０μＡ／ＷＤ＝１５ｍｍ／１．５kｅＶ ５０μＡ／ＷＤ＝１５ｍｍ／１００ｅＶ ９μＡ／ＷＤ＝１５ｍｍ／１０ｅＶ |
| 推奨ワークディスタンス | ＷＤ＝１０ｍｍ～１００ｍｍ |
| 最小ビーム径 （半値幅） | Φ０．１ｍｍ／ＶＡ＝１．５kｅＶ／ＷＤ＝１５ｍｍ φ１ｍｍ／ＶＡ＝１０ｅＶ／ＷＤ＝１５ｍｍ |
| 使用真空度（動作真空度） | １０-5Ｐａ以上 |
| 差動排気ポート | ICF70 |
| （ターボポンプはオプション） | 推奨ターボポンプ７０Ｌ／Ｓ以上接続してください |
| ビーム偏向量 | ±５ｍｍ／ＷＤ＝２０ｍｍ／１００ｅＶ |
| ベーク可能温度 | ２００℃ |
| 差動排気オリフィス | Φ１ｍｍ |
| 入力電源 | ＡＣ１００Ｖ―３Ａ |
| 取付けフランジ | ＩＣＦ７０ |
| パイプ内径 | ＩＣＦ７０（パイプ内径Φ３８ｍｍ以上要す） |
