5keVマイクロスポット電子銃 / OME-0050μS
用途
●表面分析
●オージェ(光電子分光)
概要
本電子銃は、フィラメントに極細線の特殊エミッターを採用いたしましたので 5kVという比較的低速の加速電圧でも半値幅φ50μm、フレア径φ170μm という小スポット径の電子ビームが発生可能です。
また、収束レンズに2段アインツェルレンズを採用いたしましたのでビームの平行度も良くなっております。
仕様
| 電子ビームエネルギー | 1keV~5keV 連続可変 | 
|---|---|
| 電子ビームカレント | 17nA/5keV/WD=100mm | 
| 電子ビーム径 | φ50μm/WD=100mm/VA=5kV | 
| 加速電圧 | VA=0~5kV | 
| 収束レンズ電圧 | VL1,VL2=0~5kV | 
| 動作圧力 | 1×10-4Pa以下 | 
| ワークディスタンス | WD=100mm | 
| 取り付けフランジサイズ | ICF70 | 




