製品情報product information

低速高出力電子銃 / OME-0202PE

用途

●イオン化用
●蒸着アシスト用

概要

本電子銃は、300eVという低速加速電圧にても1mAちかい大電流を発生可能な低速大電流電子銃です。

ニュートラライザーやイオン化等の用途に最適です。

仕様

電子ビームエネルギー ~300eV
電子ビームカレント(最大) 900μA/VA=300eV/WD=100mm
ビーム径 φ30mm~/WD=100mm
加速電圧 VA=0~300eV
動作圧力 1×10E-3Pa以下
ワークディスタンス WD=100mm
ベーク温度 200℃

 

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