600V 低速大電流電子銃 / OME-0625L
用途
●分析
●イオン化
●二次電子発生試験
●精密帯電試験
概要
本電子銃はビームエネルギー10eVから600eVの低速型電子銃です。最適な条件を引き出すことが可能な多段レンズにより、オリフィスカットなしで大電流密度の低速電子ビームを細く照射可能です。
２次電子の発生を抑えた分析用途での使用、試料表面の帯電中和、ガスのイオン化、二次電子発生試験などに最適です。
電子銃の全長の変更が可能です。
仕様
| ビームエネルギー | 10eV～600eV |
|---|---|
| ビーム電流 | 2.7ｍA/600eV
3μA/10eV |
| ビーム径 | φ0.3ｍｍ（半値幅）/2.5ｍA/600eV |
| 平均電流密度 | 39.59ｍA/ｍｍ2 |
| ワークディスタンス | 5ｍｍ |
| 動作圧力 | ８.0E-5Pa以下 |
コントローラ
| 加速電源 | 10V～600V |
|---|---|
| ビーム電流コントロール | バイアスカット式 |
| 収束レンズコントロール | ３段 |
| 入力電源 | ９インチラックサイズ（JIS） W=480mmD=450mm H=150mm W=480mmD=450mm H=200mm ＊突起含まず。 |
| 外部制御 | オプション |
