カソードルミネッセンス分析システム OMS-2003CL-BM
用途
●カソードルミネッセンス等
概要
本システムは電子銃にLaB6型を採用しビーム形状を正確に特定する為のビームプロファイルモニターを搭載しましたので、ワークサンプルに電子ビームを照射する際、事前に照射ビームのプロファイルを確認できますので正確なビーム密度、ビーム形状の把握が可能となり、より正確なカソードルミネッセンス分析 が出来ます。
ポートはICF７０が４本有りますので、UVランプ、モノクロメータなどのアイテムをオプションにて搭載すれば材料の不純物の検査、デバイスの 欠陥解析、蛍光体の評価などに威力を発揮しますので材料開発などには必要不可欠なシステムです。また、弊社の電子銃は１０ｅＶ～５０ｋｅＶまで多種の電子 銃を数多く取り揃えておりますのでそれぞれの用途に応じて選択可能です。
また、用途にあわせたパルス仕様、その他の機構も特注可能ですのでお申し付けください。
仕様
| 電子銃 セラミック等の物質は50keV程度要します。 |
LaB6型 100eV～3keV オプション（OME-0050CL-BM) |
|---|---|
| 最小ビーム径（半値幅） 最大電流密度 スキャン波形 スキャンエリア |
30μm/1keV 1500mA / cm2 / 1keV X：三角波 Y：階段波 10kHz ±2mm / 10kHz |
| プロファイルモニター | 2軸マニピュレータ 使用ソフト labview 計測範囲±5mm |
| ターボポンプ | 300L/s |
| 背圧ポンプ | スクロールポンプ |
| 排気チャンバー | お客様の用途により特注します。 |
| ワークマウンターシステム | お客様の用途により特注します。 |
| モノクロメータ | お客様の用途により選定 |
| 低速クリーニングイオン銃 ビーム照射前にクリーニングが必要な場合 |
オプション（OMI-0035EBL) 1μA/500eV 低速イオンですのでサンプルのダメージが少ないのが特徴です。 |
