製品情報product information

電子ビームイオンビーム照射装置 OMS-1500EIS

用途

●表面分析
●O2+イオンソフトランディング(ニュートラルビーム)
●O2+イオン照射可能

概要

本ビーム照射システムは弊社の“減速型低速中性ビーム銃”OMB-0410NBと高性能電子銃の“5keVマイクロスポット電子銃”OME-0050μS“を搭載したロードロックチャンバーを備えたビーム照射試験装置です。

イオン銃にはニュートラライザーと減速レンズシステムを備えておりますので低速10eV~1500eVの広範囲にてイオンビームの照射が可能です。10~100eVまでであればニュートラルビームも照射可能です。

また、ロードロックチャンバーのワーク挿入機構はリーズナブルなオーリングシール式を採用いたしましたので非常にローコストに仕上がっております。

サンプルステージは弊社の“4軸マニュピレータ”OMM-0104“を搭載したすべてオメガトロンの標準品を採用したシステムになっております。

他にも色々な種類の製品がございますので弊社のカタログより選定いただければバージョンアップが可能です。

仕様

イオン銃:OMB-0410NB
加速電圧
カレント

10eV~1500eV
~5μA
電子銃:OME-0050μS
加速電圧
カレント

5keV
~50nA
4軸マニュピレータ:OMM-0104 X:±10mmY:±10mmZ:±50mm
θ:マグネットカップリング式
ターボポンプ 160L/分
ロータリーポンプ 160L/分
ゲートバルブ1 ICF152
ゲートバルブ2 ICF70
到達真空度(メーンチャンバー)
真空計はオプション
5×10-6Pa

 

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