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エネルギーセパレータ付減速イオン銃(スイープ機能付) / OMB-0750CKD-SW

用途

●ラザフォード後方散乱

概要

本システムは、高出力コールドカソードイオン銃の出口に電界型エネルギーセパレータを搭載し、減速レンズシステムに入射するイオンビームの加速エネルギーを揃えたため、確率の高い低速イオンエネルギーを照射可能です。
減速後のイオンエネルギーが
200eV にて7μA/WD=30mm(Ar)
500eV にて 10μA/WD=30mm
以上のような高出力が可能です
また、X-Yスイープ機能も備えておりますので±15mm程度のスイープも可能です。
オプションにてターボポンプにて差動排気を実施すればメーンチャンバーの真空度の低下を最小限に押さえることも可能です。

仕様

イオン源 5keV コールドカソードイオン銃
エネルギーセパレータ 静電偏向型エネルギーセパレータ
減速レンズ 3段減速式アインツェルレンズ
X-Yスイープ方式 静電偏向式
加速電圧     VA ~5keV
最大イオンカレント(全電流) Is:~30μA/VA=5keV
減速イオンエネルギー (Arガス) ~200eV
減速イオンカレント (Arガス) 5μA/200eV以上 WD=30mm
スイープ範囲 (WD=30mm) ±15mm/VA=300eVにて
使用イオンガス種 Ar,N,H、Ne,Xe,その他不活性ガス
差動排気ポート ICF152(ターボポンプはオプションです)
所要ターボポンプ排気速度 200L/S以上
イオン銃動作時メーンチャンバー真空度 500eV/5μA出力時10-7Torr程度
取り付けフランジ ICF114

 

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