●カソードルミネッセンス(TVスキャン)

本システムは５０kｅＶの電子ビームを２０ｍｍ角の範囲に照射可能で、スイープ機能とブランキング機能を備えておりますので、多様なビーム照射試験が可能です。

ビーム出力は１０kｅＶにて１００μＡ、５０kｅＶにて１５０μＡのビームをスポット径５０μｍ～２０ｍｍまで連続可変可能です。

スイープ機能はＸ軸：三角波、Ｙ軸：階段波を採用しておりますので均一なビーム照射が可能です。

ブランキング機能はパルス幅１００μＳ～可変。