●ビームプロファイル評価・計測
●電流密度の評価・計測

このビームプロファイルモニターは、X軸とＹ軸の２軸マニピュレータにφ0.3mm径とφ0.03mm径ファラデーカップを備えた電子ビーム及びイオンビームプロファイル計測用のシステムです。

ファラデーカップを機械的に動かし、そのときの位置と電流値をコンピュータ上で処理し３次元プロファイルとしてモニタに出力させます。最小計測分解能は0.01mmとなっております。

また計測位置や計測幅などは任意に設定することができるので、ビームの位置やカレントなどの条件が変わった時などにすぐに対応することができます。

マニピュレータ動作軸にはボールネジを採用しておりますので高精度な計測が可能です。

○弊社ビームプロファイルモニターを使用しお客様がお使いの電子ビーム及びイオンビームのプロファイル計測サービスを始めました。お使いのビーム装置のプロファイルが気になる方はお気軽にお問い合わせください。

計測制御ソフトウェアLabview

主な機能
○3Dプロファイル計測
○電流密度計測
○半値幅計測
○エクセルデータ出力

電源仕様

※パソコンとモニタは標準装備ですが仕様により機種などの変更があります。