製品情報product information

4軸マニュピレータ / OMM-0104

用途

●実験用

概要

本マニュピレータは4軸タイプのローコスト版でz軸ストロークも100mmと十分なストロークを確保しておりますので汎用品としてお役に立つかと存じます。

また、取付けフランジはICF152を採用しておりますのでミニコンが最大5個まで増設可能ですのでオプションにて特注賜ります。

仕様

軸数 4軸
Z軸 50mm  精度 ±0.1mm
X軸 ±10mm  精度 ±0.05mm
Y軸 ±10mm  精度 ±0.05mm
θ軸 マグネット式回転導入機 バッククラッシュなし
取付けフランジ ICF152
導入ポート数 ICF34×2ケ、6Pソケット 1ケ
使用真空度 1×10-10Torr

 

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