コールドカソードイオン銃/ OMI-0012CKMLシリーズ
用途
●サンプルクリーニング
●照射試験
●イオンビームスパッタ
概要
シンプルで信頼性の高いコールドカソードイオン銃にビーム収束レンズを搭載したモデルです。
- 放電電極に対スパッタ性のレアメタルを採用し、Ar、He等の不活性ガスはもちろん、水素、酸素、窒素、メタン、ブタン等のガスをイオンビームにします。
- 静電レンズによりビーム径の可変が可能です。
- 収束タイプAでは、高い電流密度により10μｍ/HourのSiエッチング（平面）が可能です。
- ブロードタイプBでは、１０ｍｍ〜２０ｍｍ程度のサンプル面の表面クリーニングに最適です。
- メンテナンス性に優れ、お客様の手間は最小限です。
ニュートラライザーをオプションでお選び頂ければ中性ビーム銃として使用可能です。
（セラミックなどの絶縁体の精密ミーリングに威力を発揮します。）
仕様
共通仕様
| 加速電圧 | 500eV～5ｋeV |
|---|---|
| 出力可能イオン種 | Ar、He、水素、酸素、窒素等 |
| 使用時チャンバー圧 | 5.0×10-4Pa〜2.0×10-3Pa（弊社チャンバーにて） |
| ベーキング温度 | ２００℃（マグネット除いて） |
| 取付フランジ | ICF７０ |
| 重量 | ４ｋｇ（イオンガン単体） |
タイプA仕様
| ビーム径 | φ２ｍｍ～φ５ｍｍ（ビームスポットにて、WD＝５０ｍｍ） |
|---|---|
| ビーム電流 | ４０μA以上（Arにて） |
タイプB仕様
| ビーム径 | φ１０ｍｍ～φ２５ｍｍ（ビームスポットにて、WD＝１８５ｍｍ） |
|---|---|
| ビーム電流 | ３５μA以上（Arにて） |
コントローラ
| イオンエネルギー | ・500eV～5ｋeV ・ポテンショメータコントロール ・デジタルパネルメータ表示 |
|---|---|
| ディスチャージ電源 | ・～１０００V ・アナログメータ表示 |
| レンズコントロール | ５ｋV可変 |
| 入力電源 | AC１００V/２A、５０/６０Hz |
| サイズ | １９インチラックサイズ（JIS） H=150mm W=480mm D=450mm |
構成品
○イオン銃本体
○コントローラー
○ケーブル５ｍ
別途ご用意いただくもの
○バリアブルリークバルブ
○ガス配管、ボンベ等
○ガス圧モニター用真空計（ピラニー等）
オプション
| ニュートラライザーユニット | イオンの電荷をキャンセルし、絶縁物の加工も良好です。 |
|---|---|
| X-Y偏向ユニット | ビーム位置の微調整用、スキャンタイプからえらべます。 |
| ディスチャージマグネット（電磁型） | クローズドループにより、漏洩磁束を低減します。 |
| ファラデーカップ |
