製品情報product information

コールドカソードイオン銃/ OMI-0012CKMLシリーズ

用途

●サンプルクリーニング
●照射試験
●イオンビームスパッタ

概要

シンプルで信頼性の高いコールドカソードイオン銃にビーム収束レンズを搭載したモデルです。

  • 放電電極に対スパッタ性のレアメタルを採用し、Ar、He等の不活性ガスはもちろん、水素、酸素、窒素、メタン、ブタン等のガスをイオンビームにします。
  • 静電レンズによりビーム径の可変が可能です。
  • 収束タイプAでは、高い電流密度により10μm/HourのSiエッチング(平面)が可能です。
  • ブロードタイプBでは、10mm〜20mm程度のサンプル面の表面クリーニングに最適です。
  • メンテナンス性に優れ、お客様の手間は最小限です。
    ニュートラライザーをオプションでお選び頂ければ中性ビーム銃として使用可能です。
    (セラミックなどの絶縁体の精密ミーリングに威力を発揮します。)

 

仕様

共通仕様

加速電圧 500eV~5keV
出力可能イオン種 Ar、He、水素、酸素、窒素等
使用時チャンバー圧 5.0×10-4Pa〜2.0×10-3Pa(弊社チャンバーにて)
ベーキング温度 200℃(マグネット除いて)
取付フランジ ICF70
重量 4kg(イオンガン単体)

タイプA仕様

ビーム径 φ2mm~φ5mm(ビームスポットにて、WD=50mm)
ビーム電流 40μA以上(Arにて)

タイプB仕様

ビーム径 φ10mm~φ25mm(ビームスポットにて、WD=185mm)
ビーム電流 35μA以上(Arにて)

コントローラ

イオンエネルギー ・500eV~5keV
・ポテンショメータコントロール
・デジタルパネルメータ表示
ディスチャージ電源 ・~1000V
・アナログメータ表示
レンズコントロール 5kV可変
入力電源 AC100V/2A、50/60Hz
サイズ 19インチラックサイズ(JIS)
H=150mm W=480mm D=450mm

構成品
○イオン銃本体
○コントローラー
○ケーブル5m

別途ご用意いただくもの
○バリアブルリークバルブ
○ガス配管、ボンベ等
○ガス圧モニター用真空計(ピラニー等)

オプション

ニュートラライザーユニット イオンの電荷をキャンセルし、絶縁物の加工も良好です。
X-Y偏向ユニット ビーム位置の微調整用、スキャンタイプからえらべます。
ディスチャージマグネット(電磁型) クローズドループにより、漏洩磁束を低減します。
ファラデーカップ

 

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