製品情報product information

30kV LaB6電子銃/ OME-3000シリーズ

用途

・半導体製造装置組込

・μX線発生源

・μRHEED

・超精密電子ビーム溶接

・電子線照射試験

概要

創業以来アップデートし続け、研究開発分野はもちろん生産、検査設備においても長年の実績がある、信頼性の高い高輝度高性能電子銃です。

エミッターにLaB6を搭載し、最大120Wのビーム出力があり、φ36μmからφ30mmまで高い電流密度の電子ビームを照射することが可能です。(大電流バージョン)

ビーム径5μmバージョンはWD200mmで1μAの大電流密度を出力可能なハイパービアンス型で、1kVでも100μmと非常に絞れております。WD最大1mで使うこともできる平行なビームですのでRHEEDにも適しております。

発展型としてこれをベースに半導体製造装置組込バージョン、SEM機能オプション、多段差動排気等、用途に合わせた特注でお客様だけの仕様もおつくりします。

仕様

仕様 (大電流バージョン 型式:OME-3040LA)

・ビームエネルギー  :1keV~30keV

・ビーム電流     :1μA~4mA(30keV)

・ビーム径      :φ36μm~φ30mm

・電流密度      :737mA/cm2 (φ36μm)

・最大電流密度    :12.7A /cm2 (φ100μm)

仕様 (φ5μmバージョン 型式:OME-3005LA)

・最小ビーム径    :φ5μm(半値幅)

・ビーム電流     :1μA~100μA

○収束レンズ、XY偏向、取付フランジICF70

○差動排気ポートはICF70を標準装備(機能設定は初期選択制)

○取付ステー(ご要望に応じ特注可能)

○オプション

・磁気シールド ・ゲートバルブ ・多段差動排気(特注開発)

・PIDフィードバック制御 ・高速スキャン ・SEM機能

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