製品情報product information

30kVLaB6電子銃 / OME-3040LA

用途

●半導体製造装置組込

●μX線発生源

●超精密電子ビーム溶接
●電子線照射試験

概要

この製品は、エミッターにLaB6を搭載した高輝度高出力電子銃です。最大120Wのビーム出力があり、φ36μmからφ30mmまで高い電流密度の電子ビームを照射することが可能です。
ビーム径や電流密度、用途に合わせた特注でも対応いたします。

半導体製造装置組込バージョン、ビーム径φ10μmバージョン、SEM機能オプション等、お客様だけの仕様におつくりします。

仕様

ビームエネルギー 1keV~30keV
ビーム電流 1μA~4mA(30keV)
ビーム径 φ36μm~φ30mm
電流密度 737mA/cm2(φ36μm)
最大電流密度 12.7A/cm2(φ100μm)

 

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