1kV電子銃 / OME-0035
用途
●試料表面の帯電中和
●ガスのイオン化
●二時電子発生試験
●TOF用のイオン化、精密帯電試験
概要
本電子銃はビームエネルギー10eVから1100eVの低速型電子銃です。ビームエネルギー10eVの低速でも200ｎA近くの大電流を照射可能です。試料表面の帯電中和、ガスのイオン化、二次電子発生試験などに最適です。
外部入力端子にパルスアンプ（オプション）を接続すればパルス発生が可能になり、TOF用のイオン化、精密帯電試験にも使用できます。
＊写真にはない切替スイッチが追加されます。
仕様
| エミッター | タングステン（オプションでLaB6も可能） |
|---|---|
| ビームエネルギー | 10eV～1100eV （連続可変） |
| 最大ビーム電流 | 290μA／1100ｅＶ／WD=50ｍｍ 200nA／10ｅＶ／WD=50ｍｍ |
| 最小ビーム径（半値幅） | φ0.5ｍｍ 最小ビーム径φ０．１５ｍｍを選べるようになりました。 |
| ビーム径調整 | 静電レンズ |
| ビームアライメント | XYデフレクター |
| 推奨ワークディスタンス | WD=10mm～100mm |
| 動作真空度 | 1.0E-4Pa以上 |
| 外部入力 | SHV |
| 電源 | AC100V 3Ａ |
| 取り付けフランジ | ICF70 |
| ケーブル長 | 5m |
