製品情報product information

超低速質量選別型正負イオンビーム照射システム/ OMS-1402

用途

●表面科学
●燃料電池開発
●触媒開発など

概要

本システムは、新開発のセラミック放電管を採用した低速高輝度RFイオン銃、マグネットセパレーター、ビーム輸送系、高効率減速レンズシステムを備え、特に数eV~100eVという超低速において、比較的大電流の各種プラスマイナスイオンを照射可能なシステムです。

イオン源部は組立式のセラミック放電管の為、優れたメンテナンス性、耐腐食性、安定性を獲得しており、長時間に亘る実験に有効です。

Ar、酸素、水素はもちろん、BCL3ガスをも安定的に放電することが可能になっており、イオン源部品とガス導入系の交換によりさまざまなイオンを発生することが可能です。

マグネットセパレーターのオリフィスを交換することで、分解能1amuの質量分離が可能です。また、ニュートラルや電子の低減に効果的な設計を施しています。 多段に配置された減速レンズにより、超低速域においても高効率を可能とし、表面科学や燃料電池開発、触媒開発など、多種多様な実験に最適です。

仕様

出力イオン種 H+, H2+, He+ O2+ ,O+ ,N2+ ,N+ ,Ar+ ,Ar++,B+ ,C+ 等
(質量 M/e=1~40まで)
出力ビームエネルギー 1eV~1500eV/(1nA〜2000nA)
各種イオン出力
(最大出力設定時)
Ar+ /1.5μA
O+ /0.5μA
O2+ /1.8μA
B+ /0.20μA
H+ /0.20μA
N+ /0.30μA
N2+ /0.90μA
質量選別機構 セクターマグネットセパレーター
アライメント機構 メカニカル式
ビーム補正機構 スティグマトール
イオン計測機構 ファラデーカップ(ビームon/off機能付き)
ニュートラル除去機構 マグネットセパレータ部で除去
取付フランジ ICF114
使用WD 5mm~50mm
(フランジ端面よりターゲットの距離)
到達圧力 5.0×10-6Pa以下
ベーク温度 180℃(Oリング、マグネット部は除く)

コントローラー

正負電源 ±イオンの輸送が可能
減速システム 内部フローティング構造
サイズ 19インチラックサイズ(JIS)
インターロック リレー接点でメイン電源を遮断

オプション

  • RF電源、自動マッチャー・スペアイオン源・ガス導入系・真空排気系・真空チャンバー・ビームプロファイルモニター
  • ファラデーカップ・大電流負イオン源(特注)

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