・表面ソフトランディング　　　・イオンビームスパッタ

・低エネルギークリーニング　　・絶縁物クリーニング

・燃料電池電極材の開発　　　　・二次イオン発生試験

本銃はビームエネルギー5eVから3000eVの減速型イオン銃に中性化機構を備えた中性ビーム銃です。効率よくイオンを引き出し、減速型多段レンズにより、大電流密度の低速イオンビームを照射可能です。

独自の中性化機構は、そのイオンを電子雲により電荷交換し、高速中性ビームにします。試料のチャージアップの発生を抑えた分析用途での使用、絶縁物試料表面の精密クリーニング、燃料電池電極材の開発、二次イオン発生試験などに最適です。