１０ｋeVカーボンイオンガン （E×Bフィルター付）
用途
●カーボンイオン照射(O+ H2+イオン照射可)
●昇温脱離ガス分析
概要
本イオンガンはガス種をCO2としディスチャージ方式にコールドカソード型を採用しておりますので寿命が長く高出力のイオン出力が可能です。また、原理上多価イオンの発生が比較的多いので2価の炭素イオン、2価の窒素イオン等も取り出せます。
イオン銃は高精度型を採用しておりますのでビームプロファイルのきれいなイオンビームも出力可能になっております。
ビームスキャン機能も搭載しておりますので多様な資料照射試験が可能。
また、オプションにてLabVIEWソフト制御による外部コントロール機能も搭載可能です。
ターボポンプ、ガス導入系統はオプションです。
仕様
| ディスチャージ方式 | コールドカソード型（PIG） |
|---|---|
| 加速電圧 | １kｅＶ～１０kｅＶ 連続可変 |
| 収束レンズ | 3段アインツェルレンズ |
| ガス種 | CO2 |
| 最小ビーム径（半値幅） | φ０．７ｍｍ／１０ｋｅＶ |
| 質量分離方式 | E×Bフィルター（ウィーンフィルター） |
| セパレータマグネット | クローズドループ型 |
| セパレータ性能 | 通過イオン１２ａｍｕにセットした場合最大 ４ｍｍ／⊿１ａｍｕ（セパレートオリフィスφ２ｍｍ） |
| セパレート感度 | １２±１ａｍｕ／2500ガウス／ＩＶＤＩ＝２０００Ｖ |
| ワークディスタンス | ＷＤ＝１００～２００ｍｍ |
| 最大ターゲットカレント（1価カーボンイオン） | ３μＡ／ＶＡ＝１０kＶ／ＷＤ＝１５０ｍｍ |
| 最小ビーム径 （半値幅） | φ１ｍｍ／ＶＡ＝１０kｅＶ／ＷＤ＝１５０ｍｍ |
| Ｘ－Ｙ偏向量 （スキャンエリア） | ±５ｍｍ／ＷＤ＝１５０ｍｍ／ＶＡ１０kＶ／１００Ｈｚ |
| Ｘ－Ｙ周波数 | ５００～１kＨｚ（三角波） |
| ビームアライメント | オフセット量±３ｍｍ／ＶＡ＝１０kｖ |
