カーボン膜厚自動計測システム/OMS-0700CF
用途
●カーボン膜厚の自動測定
概要
X軸とＹ軸の２軸ステージに測定対象物のカーボン膜を搭載し、膜厚分布を自動測定するシステムです。Z軸アライメントも搭載し、幅広い条件を設定することも可能です。α線源とSSDアンプはご指定の物を御支給頂き、最適に組込むことが可能です。
仕様
| 計測方式 | α線源 （御支給、オプションにて変更可） |
|---|---|
| SSD | 御支給 |
| A/Dコンバータ | 分解能 16bit |
マニピュレータ
| 5相パルスモータ | 低振動、マイクロステップ |
|---|---|
| X軸（ボールネジ） | 可動範囲 ±１７．５mm 分解能0.01mm |
| Y軸（ボールネジ） | 可動範囲 ±１７．５mm 分解能0.01mm |
| Z軸（ボールネジ） | 可動範囲 ±１７．５mm 分解能0.01mm |
計測制御ソフトウェア： LabVIEW
主な機能
- 膜厚プロファイル計測
- 平均密度計測
- 半値幅計測
- エクセルデータ出力
電源仕様など
| コントローラ電源 | AC100V-3A |
|---|---|
| ケーブル長 | ５ｍ |
| パソコン | PCIバス装備のデスクトップ型 |
