・試料表面の帯電中和

・二次電子発生試験

・ガスのイオン化

・精密帯電試験

本電子銃はビームエネルギー10eVから300eVの低速パルス電子銃です。ビームエネルギー２0eVの低速でも1.5μAの大電流を照射可能です。試料表面の帯電中和、ガスのイオン化、二次電子発生試験などに最適です。高速パルスビームの発生が可能で、TOF用のイオン化、精密帯電試験にも使用できます。

・ビームエネルギー　　：10eV～300eV

・ビーム電流　　　　　：100μA/300eV/WD=66mm

：1.5μA/20eV/WD=66mm

・ビーム径　　　　　　：φ0.6mm～φ3mm/WD=66mm

・パルス機能　　　　　：加速電圧スイッチング式

・繰り返し周波数　　　：10kHz

・パルス性能　　　　　：立上がり、立下がり2μS /300eV

・最小パルス幅　　　　：10μS

・デューティー比　　　： 9:1

・パルスコントロール　： 5V TTLレベル

・ワークディスタンス　：10mm～100mm

・動作圧力　　　　　　： 1.0E-4Pa以下

・取付フランジ　　　　： ICF70

・磁気シールド　　　　： 標準装備