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コールドカソード減速イオン銃/OMI-0750シリーズ オプションで中性ビーム

用途

・イオンビームスパッタ

・表面ソフトランディング(酸素等)

・低エネルギークリーニング

・絶縁物クリーニング

・燃料電池(窒素ドープ等)

・低速イオン散乱分光(He)

概要

本銃は超高真空において使用可能な、ビームエネルギー10eVから3000eVの減速型コールドカソードイオン銃です。効率よくイオンを引き出し、高精度減速型多段レンズにより、高電流密度の低速イオンビームを照射可能です。

フィラメントがない構造は反応性ガスを使用可能となっており、長寿命の為メンテナンスサイクルを短くすることが可能です。整備性に優れた新設計ディスチャージチャンバーを採用しております。

また高効率差動排気設計によりメインチャンバーを超高真空度に保ちます。

オプションのニュートラライザーは、減速イオンビームを最終段にて独自の電子雲発生構造により電荷交換し、高速中性ビームにします。絶縁物等のチャージアップを抑え精密に加工することが可能です。電子雲発生を切ることにより通常のイオンビームも発生可能です。

試料面でのXYアライメント、スキャン機能を使う場合オプションの電源をつなぐだけで動作します。

仕様

・ビームエネルギー :10eV~3000eV

・ビーム電流    :20nA ~1.9μA

・ビーム径(半値幅):φ0.15mm~ φ5mm

*φ0.15mm(半値幅)1.2μA、2870eV、WD=20mm

*φ0.19mm(半値幅)1.2μA、2000eV、WD=20mm

*φ0.25mm(半値幅)0.9μA、1000eV、WD=20mm

*φ0.38mm(半値幅)0.9μA、  500eV、WD=20mm

・最大平均電流密度 :6.94mA/cm2

・最低動作圧力   :5.5×10-6Pa 以下

*メインチャンバーのベース圧1.87×10-6Pa ノンベークにて

*差動排気1か所にTMP50L/s 1台で引いた場合

・差動排気ポート  :ICF70

・イオン化ガス    :Ar、He、窒素、酸素、水素、

(SiF4、HC等反応性ガスの場合ご相談ください)

・ビームon/off   :スイッチ(外部接点入力も搭載)で制御可能

・XYスキャン(オプション)

・スキャン範囲  :最大6mm×6mm (3000eV WD=20mm)

・スキャン周波数 :1kHz

・ニュートラライザー:電子雲電荷交換型(オプション)

(OFF時は通常のイオン銃として作動)

・中性ON時動作圧 :5.8×10-6Pa 以下

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