●サンプルクリーニング
●照射試験
●イオンビームスパッタ

シンプルで信頼性の高いコールドカソードイオン銃の必要最低限なベースモデルです。

・放電電極に対スパッタ性のレアメタルを採用し、Ar、He等の不活性ガスはもちろん、水素、酸素、窒素、メタン、ブタン等のガスをイオンビームにします。

・メンテナンス性に優れ、お客様の手間は最小限です。

・ニュートラライザーをオプションでお選び頂ければ中性ビーム銃として使用可能です。

（セラミックなどの絶縁体の精密ミーリングに威力を発揮します。）

ニュートラライザーをオプションでお選び頂ければ中性ビーム銃として使用可能です（セラミックなどの絶縁体の精密ミーリングに威力を発揮します） 。