●水素化
●イオン注入
●質量分離

本イオン銃はマグネットセパレーターを装備した電子衝撃型イオン銃です。

エネルギー幅が小さいイオン化方式ですので、質量分離後のイオンビームプロファイルが良好で輝度も高くなっております。

水素、Heまでに対応するマグネットは、非常にコンパクトになっております。構造上ニュートラルビームもカットできますので、より高精度なイオン照射を可能にします。