マグネットセパレーター付イオン銃 / OMI-0040MSシリーズ
用途
●水素化
●イオン注入
●質量分離
概要
本イオン銃はマグネットセパレーターを装備した電子衝撃型イオン銃です。
エネルギー幅が小さいイオン化方式ですので、質量分離後のイオンビームプロファイルが良好で輝度も高くなっております。
水素、Heまでに対応するマグネットは、非常にコンパクトになっております。構造上ニュートラルビームもカットできますので、より高精度なイオン照射を可能にします。
仕様
ディスチャージ方式 | 5keV 電子衝撃型 |
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加速電圧 | 100eV~5keV 連続可変 |
最大電流 | 2.5μA/Heにて |
ビームプロファイル(WD=46mmにて取得) | Φ1.5mm半値幅/4keV/0.9μA |
イオン種 | 水素、He |
入力電源 | AC100V、5A |
取付けフランジ | ICF70 |
差動排気ポート | ICF70 |
パルスビーム | オプションで対応可 |