製品情報product information

マグネットセパレーター付イオン銃 / OMI-0040MSシリーズ

用途

●水素化
●イオン注入
●質量分離

概要

本イオン銃はマグネットセパレーターを装備した電子衝撃型イオン銃です。

エネルギー幅が小さいイオン化方式ですので、質量分離後のイオンビームプロファイルが良好で輝度も高くなっております。

水素、Heまでに対応するマグネットは、非常にコンパクトになっております。構造上ニュートラルビームもカットできますので、より高精度なイオン照射を可能にします。

仕様

ディスチャージ方式 5keV 電子衝撃型
加速電圧 100eV~5keV 連続可変
最大電流 2.5μA/Heにて
ビームプロファイル(WD=46mmにて取得) Φ1.5mm半値幅/4keV/0.9μA
イオン種 水素、He
入力電源 AC100V、5A
取付けフランジ ICF70
差動排気ポート ICF70
パルスビーム オプションで対応可

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