・スパッタリング

・イオンビームアシスト

大電流のコールドカソードイオン銃で、弊社のラインナップで最大級のビーム電流を出力可能です。

ユーザー様の使用環境に合わせた特殊品の開発を承っております。

開発項目例

○加速電圧

○ビーム電流

○ニュートラライザー形式選択

○材質指定

○サイズ変更

○特殊コントローラ開発

○イオン銃部

イオン化方式　　　　：コールドカソード型

ビームエネルギー　　：100eV～300eV

ビーム電流　　　　　：3A

ビーム角度　　　　　：ブロード

出力可能イオン種　　：Ar、He、その他

イオンガン外径　　　：φ140mm