製品情報product information

10kV高精度水素イオン銃/ OMI-0090シリーズ

用途

●水素化
●イオン注入
●加速器

概要

本イオン銃はコールドカソード放電方式を採用した、高輝度、高精度の水素イオン銃です。

新型引出し電極により100%と高い引出し効率を実現しております。

高精度な2段レンズ系を採用し、300mm以上のワークディスタンスに対応したロングフォーカスタイプとなっております。

仕様

ディスチャージ方式 コールドカソード式(PIG放電)
加速電圧 700eV~10keV 連続可変
最大電流 45μA
ビームプロファイル
(WD=300mmにて取得)
Φ1.5mm半値幅/10kV/31μA
Φ0.9mm半値幅/10kV/11μA
イオン種 水素、(Heも使用可能)
入力電源 AC100V、5A
取付けフランジ ICF114
差動排気ポート ICF114
パルスビーム オプションで対応可能

 

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