●イオン注入
●加速器

●表面科学、核融合、燃料電池、水素、カーボン関係の研究開発

本製品は、放電安定性を高めた新開発のコールドカソードイオン銃、高性能レンズシステムを備え、最大１０ｋVの高電圧大電流の各種イオンビームを照射可能です。

イオン源部はレアメタルを採用し、優れたメンテナンス性、安定性を獲得しており、長時間に亘る実験に有効です。

Ar、He、水素はもちろん、窒素、酸素、 CO２ガスも放電することが可能です。

多段に配置された収束レンズにより、高効率を可能とし、表面科学や核融合、燃料電池、水素、カーボン関係の研究開発など、多種多様な実験に最適です。

仕様

・イオン銃　　　　　　：コールドカソード式

・ビームエネルギー　　：0.7ｋeV～10.7ｋeV

・最大ビーム電流　　　：～150μA（水素ガスにて）

・ビーム径　　　　　　：φ1.5mｍ～φ5ｍｍ

・使用可能ガス　　　　：水素、He、窒素、酸素、CO2、Ar

・アライメント機構　　：XY静電偏向式

・マグネット　　　　　：クローズドループ電磁式

・取付フランジ　　　　：ICF１１４

・差動排気ポート　　　：ICF１１４

・使用WD　　　　　　：50mm～300mm（フランジ端面よりターゲットの距離）

・到達圧力　　　　　　：５．０ｘ１０－6Pa以下

・ベーク温度　　　　　：１２０℃（Oリング、マグネット部は除く）