製品情報product information

ガス安定化コントローラー /OMS-0010G

用途

・イオン銃のガス導入部

・バリアブルリークバルブの自動制御

概要

〇バリアブルリークバルブ動作のイオン銃のガス導入口圧を安定化し、プラズマの安定放電を実現します。2つの設定値をプリセットできるので、再現性が高く便利です。

〇別途配管等を用い、弊社イオン銃に最適なシステムを構築できます。

〇イオン銃以外にもバリアブルリークバルブの自動制御装置としてご使用いただけます。

仕様

・真空度計測法   :ピラニー式

・計測範囲     :0.1Pa~1.0×105Pa

・制御方式     :PID

・駆動方式     :電動

・対応バルブ    :VAT社製シリーズ59(別途準備ください)

*写真のバルブ、配管は別途見積

・ガス流量調節範囲 :1×10-11Pam3s-1to10Pam3s-1

・閉時間      :3.5S

コントローラー仕様

設定値モニタ     :OPEN=1000~CLOSE=0000

ポジション分解能   :100,000

バルブ制御ボタン   :OPEN/CLOSE

設定値プリセット   :アナログダイヤル2つで設定

コントローラ電源   :AC100V-2A

サイズ        :19インチ

 

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