製品情報product information

ExBセパレーター型 イオンビーム照射システム/ OMS-5010ESi

用途

表面科学や核融合、燃料電池、水素、カーボン関係の研究開発

概要

本システムは、新開発のコールドカソードイオン銃、EXBセパレーター、ビーム輸送系、高性能レンズシステムを備え、最大10kVの高電圧大電流の各種イオンビームを照射可能なシステムです。

イオン源部はレアメタルを採用し、優れたメンテナンス性、安定性を獲得しており、長時間に亘る実験に有効です。

Ar、He、水素はもちろん、窒素、酸素、 CO2ガスも放電することが可能です。

EXBセパレーターのオリフィスを交換することで、分解能1amuの質量分離が可能です。

多段に配置された収束レンズにより、高効率を可能とし、表面科学や核融合、燃料電池、水素、カーボン関係の研究開発など、多種多様な実験に最適です。

仕様

仕様

・イオン銃      :コールドカソード式

・ビームエネルギー  :0.7keV~10.7keV

・最大ビーム電流   :50μA以上(水素ガスにて)

・ビーム径      :φ1.5mm~φ10mm

・セパレータ     :EXB式

・選別可能質量    :1~50M/Z

・使用可能ガス    :水素、He、窒素、酸素、CO2、Ar

・出力イオン種    : H+, H2+, He+ O2+ ,O+  ,N2+ ,N+ ,Ar+ ,Ar++,C+ 等

(質量 M/e=1~50まで)

・各種イオン出力   :H+    /1.9μA    H2+ /34μA    HD+ /0.8μA

・ (質量選別時)     :He+  /1.0μA

・          :O++  /0.1μA    O2++ ,O+/3.0μA     O2+  /7.7μA

・          :C+  /0.01μA    CO+/0.03μA    CO2+  /0.17μA

・分解能設定機構   :オリフィス交換式

・アライメント機構  :メカニカル式、XY静電偏向式

・ビーム補正機構   :4極式

・取付フランジ    :ICF114

・使用WD      :50mm~150mm(フランジ端面よりターゲットの距離)

・到達圧力      :5.0x10-6Pa以下

・ベーク温度     :120℃(Oリング、マグネット部は除く)

オプション

・ガス導入系

・真空排気系

・真空チャンバー

・ビームプロファイルモニター

・ファラデーカップ

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