製品情報product information

ExBセパレーター/ OMS-5010ES

用途

・10kVまでのイオンビームの質量選別

概要

本システムは、最大10kVのイオンビームを質量選別可能な、EXBセパレーターです。ビーム輸送系、高性能レンズシステムを備え、EXBセパレーターのオリフィスを交換することで、分解能1amuの質量分離が可能です。

表面科学や核融合、燃料電池、水素、カーボン関係の研究開発など、多種多様な実験に最適です。

仕様

仕様

・イオン銃      :オプション

・ビームエネルギー  :0.7keV~10.7keV

・最大入射ビーム電流 :~300μA(水素ガスにて)

・適合ビーム径    :φ1.5mm~φ10mm

・セパレータ方式   :EXB式

・選別可能質量    :1~50M/Z

・使用可能ガス    :水素、He、窒素、酸素、CO2、Ar

・出力イオン種    : H+, H2+, He+ O2+ ,O+  ,N2+ ,N+ ,Ar+ ,Ar++,C+ 等

・               (質量 M/e=1~50まで)

・分解能設定機構   :オリフィス交換式

・アライメント機構  :メカニカル式、XY静電偏向式

・ビーム補正機構   :4極式

・取付フランジ    :ICF114

・到達圧力      :5.0x10-6Pa以下

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