・イオンビームスパッタ

・高速クリーニング

本イオン銃は、新開発のセラミック放電管を採用したRFイオン銃で、ビームエネルギー2100eVで45μA以上（Ar）の高輝度ビームを発生します。

組立式のセラミック放電管の為、優れたメンテナンス性、耐腐食性、安定性を獲得しており、長時間に亘る実験に有効です。

高輝度ビームを生かした精密高速クリーニング、各種加速試験などに最適です。

・ビームエネルギー　：300eV～2100eV

・ビーム電流　　　　：10nA ～49μA（Ar）

・ビーム径（最小）　：φ0.54ｍｍ（半値幅）49μA/2100eV

・最大平均電流密度　：20mA/cｍ2

・動作圧力　　　      ：6.0E-4Pa 程度（メインチャンバー圧）