２kV低速イオン銃/ OMI-0010
用途
●イオンビームスパッタ
●低損傷クリーニング等
概要
本イオン銃は、新開発のイオン引出電極により、低エネルギーにおいても、大電流で整ったビームを照射可能です。1050ｅＶにては、最大平均電流密 度2.8ｍA／ｃｍ２の出力が得られます。このときのビーム径は、半値幅にてφ0.6ｍｍと小さいので、比較的微細な領域のエッチングに最適です。
50eVにおいても200nA以上の高出力なので、低損傷クリーニング等に最適です。また、ビームプロファイルを台形の条件にすることが可能ですので、サンプルの均一なクリーニングも得意とします。
仕様
| ビームエネルギー | 50eV～2050eV |
|---|---|
| ビーム電流 | 200nA～15μA |
| 最大平均電流密度 | 2.8ｍA/ｃｍ２ |
| ビーム径（半値幅） | φ0.６ｍｍ～ φ7ｍｍ（WD＝３０ｍｍにて） |
| 漏洩磁束 | なし |
| イオン銃形式 | エレクトロンボンバード型 |
| フィラメント | ２系統切替式 |
| 使用可能ガス | Ar、希ガス、窒素 |
| 動作圧力 | 4.0×１０－４Pa～ ２.0×１０－３Pa（弊社チャンバーにおいて） |
コントローラ
●入力電源 AC100V-3A
●サイズ １９インチラックサイズ
ケーブル
●５ｍ（標準）
オプション
●ビームプロファイルモニター
●ファラデーカップ
別途必要なもの
●真空排気系
●ガス導入系
