電磁石型 コールドカソードイオン銃 / OMI-0015CKE
用途
タイプＡ ： 収束ビーム
IBF エッチング セパレータの上流用
タイプＢ ： ブロードビーム
IBF エッチング 照射試験
概要
シンプルで信頼性の高いコールドカソードイオン銃に、収束性を高めたタイプAはビーム収束レンズを2段搭載しております。ブロードビーム型のタイプBは収束レンズを1段としてコストを抑えつつ、大電流のイオンビームを照射可能です。どちらの機種も、漏洩磁束が少なくディスチャージコントロール性に優れた電磁石を採用したモデルです。
・放電電極に対スパッタ性のレアメタルを採用し、Ar、He等の不活性ガスはもちろん、
水素、酸素、窒素、メタン、ブタン等のガスをイオンビームにします。
仕様
共通仕様
加速電圧 ：～5.7ｋeV
出力可能イオン種 ：Ar、He、水素、酸素、窒素等
使用時チャンバー圧 ：2.0×10-4Pa〜1.1×10-3Pa（弊社チャンバーにて）
ベーキング温度 ：２００℃（マグネット除いて）
取付フランジ ：ICF７０
磁場印可方式 ：電磁型ディスチャージマグネット
漏洩磁束 ：クローズドループ方式により外部漏洩を低減
ビーム集束方式 ：アインツェルレンズ
タイプA仕様 型式：OMI-0015CKE-A
ビーム集束方式 ：アインツェルレンズ２段式
ビーム径 ：φ２ｍｍ〜φ８ｍｍ（半値幅、WD＝100ｍｍ）
ビーム電流 ：２１４μA／４．３ｋV／φ２ｍｍ半値幅（水素にて）
：１３５μA／４．３ｋV／φ２ｍｍ半値幅（Heにて）
タイプB仕様 型式：OMI-0015CKE-B
ビーム集束方式 ：アインツェルレンズ１段式
ビーム径 ：φ３ｍｍ〜φ１２ｍｍ（半値幅、WD＝100ｍｍ）
ビーム電流 ：１４２μA／５．７ｋeV（水素にて）
：１７４μA／５．７ｋeV（Heにて）
：１２３μA／５．７ｋeV（Arにて）
： ６３μA／２．７ｋeV（Arにて）
： ２７μA／１．７ｋeV（Arにて）
： ３μA／０．５ｋeV（Arにて）
