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超高真空減速中性ビーム銃を新開発いたしました。

2015年11月7日

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超高真空減速中性ビーム銃OMI-0736NDを新開発いたしました。ガス消費量を低減し静電レンズを最適化し、ビームを細くすることにより、きわめて効果的に差動排気することを可能としました。また熱電子衝撃部の設計を見直し、余分な熱の発生を抑え効率よく冷却する構造を採用し、動作時のガス放出を抑える事等により、前モデルOMI-0735NDと比べ最低動作圧が下がり、メインチャンバーにても超高真空-6Paオーダーを維持したままイオン照射、中性ビーム照射を可能としております。しかもこの時の真空度-6Paはノンベークでしたので、ベークすればよいいい条件が可能です。この高性能を是非有利にお使いいただければ幸いです。

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