技術紹介technical information

加熱冷却機器

真空では何かと加熱冷却することが多くなります。クラッキングセルやエレクトロンボンバード加熱、ヒーター加熱機器も製作しており、電子ビーム溶接で特殊なヒーターも自社で製作します。
イオン銃電子銃の要素技術なので得意とする分野です。単体でのご依頼もお気軽にお申し付け下さい。

真空中加熱方式

  • 電子ビーム式(3300℃)
  • フィラメント加熱(2000℃)
製品例
  • ガスクラッキングセル
  • 電子ビーム蒸着源

腐食性ガス雰囲気対応加熱方式

  • タフヒーター (1000℃以上)
  • タフヒーター(フラット型)

  • タフヒーター(ルツボ型)

  • グラファイトヒーター