技術紹介technical information

真空チャンバー製作

設備の都合上、架台を含め高さ2100mmまでの真空チャンバーを承ります。
電子ビーム・イオンビームを扱う場合で、差動排気、ガス供給系、磁場・電場の考慮、ビーム計測が必要な時はご依頼ください。

  • 超高真空チャンバー 9x10-8Pa以下

  • MCP電子銃

  • 電子ビーム溶接機

  • 超高真空サンプルキャリー

  • 超高真空真空チャンバー(Frイオン源用チャンバー)