イオン銃
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【用途】
●カーボンイオン照射(O+ H2+イオン照射可) ●昇温脱離ガス分析 -
【用途】
・表面ソフトランディング ・イオンビームスパッタ ・低エネルギークリーニング ・絶縁物クリーニング ・燃料電池電極材の開発 ・二次イオン発生試験 -
超低速質量選別型正負イオンビーム照射システム/ OMS-1402
【用途】
●表面科学 ●燃料電池開発 ●触媒開発など -
【用途】
●表面ソフトランディング ●イオンビームスパッタ ●低エネルギークリーニング ●フローティング用 -
【用途】
●サンプルクリーニング ●照射試験 ●イオンビームスパッタ