イオン銃

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  １０ｋeVカーボンイオンガン （E×Bフィルター付）

  【用途】
  ●カーボンイオン照射(O⁺ H₂⁺イオン照射可) ●昇温脱離ガス分析

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  減速型高速中性ビーム銃 / OMI-0736ND シリーズ

  【用途】
  ・表面ソフトランディング　　　・イオンビームスパッタ ・低エネルギークリーニング　　・絶縁物クリーニング ・燃料電池電極材の開発　　　　・二次イオン発生試験

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  超低速質量選別型正負イオンビーム照射システム/ OMS-1402

  【用途】
  ●表面科学 ●燃料電池開発 ●触媒開発など

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  低速高輝度　RFイオン銃/ OMI-0650シリーズ

  【用途】
  ●表面ソフトランディング ●イオンビームスパッタ ●低エネルギークリーニング ●フローティング用

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  コールドカソードイオン銃/ OMI-0012CKM

  【用途】
  ●サンプルクリーニング ●照射試験 ●イオンビームスパッタ

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